公司介绍
中微半导体设备（上海）股份有限公司（688012.SH，AMEC）由尹志尧博士2004年回国创办，2019年科创板首批上市，是国内唯一打入台积电5nm/3nm先进制程产线的国产刻蚀设备厂商，CCP介质刻蚀国内市占超60%、ICP导体刻蚀国内市占超40%，全球累计出货刻蚀反应台超8300台、进入全球第一梯队。公司同时布局MOCVD（氮化镓LED全球龙头）、LPCVD/ALD薄膜沉积（2025年销售同比+224.23%），2025年营业收入123.85亿元、归母净利润21.11亿元、研发投入37.44亿元占营收30%以上。
提供的AI解决方案
擅长行业
成功案例
中芯国际
中芯国际是国内最大晶圆代工厂，对先进制程刻蚀机需求强烈。中微公司已累计向中芯国际供应至少800台刻蚀机，覆盖其5/7/14nm多个产线，是公司刻蚀设备核心战略客户，2025-2026年随中芯国际扩产持续放量。
累计供货超800台
台积电
台积电作为全球最大晶圆代工厂，5nm先进制程对刻蚀机要求极高。中微公司是国内唯一进入台积电3/5nm先进制程产线的国产刻蚀设备商，2025年台积电南京厂向公司下达10台5nm刻蚀机订单并于2026年Q1全部交付。
台积电5nm订单10台
长江存储
长江存储3D NAND高深宽比刻蚀（60:1/140:1）需大批量CCP刻蚀机。中微公司为其提供CCP介质刻蚀设备，覆盖其所有3D NAND产线，2024-2026年随产能扩张持续批量供货。
3D NAND核心客户
长鑫存储
长鑫存储DRAM产线扩产需CCP/ICP刻蚀机。中微公司为其提供CCP介质刻蚀及ICP导体刻蚀多品类设备，2024-2026年随长鑫存储产能扩张持续放量，是公司核心战略客户。
DRAM核心客户
华虹半导体
华虹半导体特色工艺晶圆代工产线扩产需刻蚀设备。中微公司为其提供CCP/ICP刻蚀机，2019年合肥晶合、2025年华虹无锡（华虹无锡销售合同）批量供货，是公司特色工艺客户群核心。
特色工艺批量供货
SK海力士
SK海力士作为全球存储巨头，HBM/DDR5扩产需大批量刻蚀设备。中微公司为其提供CCP介质刻蚀设备覆盖HBM关键工艺，2024-2026年随HBM扩产持续放量，是公司海外核心战略客户。
HBM海外核心客户
华润微电子
华润微电子功率器件及特色工艺产线扩产需刻蚀设备。中微公司为其提供ICP/CCP刻蚀机，2026年1-8月报告期多次显示稳定供货，覆盖其无锡、重庆、上海多地子公司。
功率器件核心客户
三安光电
三安光电氮化镓LED外延片产线扩产需MOCVD设备。中微公司Prismo系列MOCVD全球氮化镓LED市占领先，是三安光电核心设备供应商，2024-2026年随Mini LED/Micro LED扩产持续放量。
MOCVD全球龙头
晶元光电
晶元光电为台湾LED外延片龙头。中微公司Prismo系列MOCVD为其LED外延片产线核心设备，2019年起持续批量供货，是公司在海外LED领域的核心客户。
台湾LED核心客户
首尔半导体
首尔半导体作为韩国LED厂商，Micro LED/Mini LED扩产需MOCVD设备。中微公司为其提供Prismo系列MOCVD，2019年起批量供货，是公司在韩国市场的核心客户。
韩国Micro LED客户
天岳先进
天岳先进作为国内碳化硅衬底领军企业，第三代半导体扩产需大批量刻蚀设备。中微公司为其提供碳化硅专用刻蚀设备，2025-2026年随碳化硅渗透率提升持续放量。
第三代半导体核心客户
士兰微
士兰微功率器件及IDM产线扩产需刻蚀设备及MOCVD设备。中微公司为其提供ICP/CCP刻蚀机，2019-2026年长期批量供货，是公司IDM客户群核心客户之一。
IDM长期批量客户