公司介绍
华海清科股份有限公司（688120.SH）成立于2013年，由清华大学与天津市政府合资设立，2022年6月登陆科创板，实控人为四川省国资委。公司是国内唯一实现12英寸CMP（化学机械抛光）设备规模化量产的企业，国产CMP装备销售份额超90%，累计出货超1000台，产品覆盖6-12英寸晶圆，深度导入中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储等头部晶圆厂，2025年营收46.48亿元、同比增长36.46%。
提供的AI解决方案
擅长行业
成功案例
长江存储
长江存储3D NAND从128层向232层、300层迭代，每层堆叠都要反复做晶圆全局平坦化，CMP设备直接决定扩产节奏。华海清科2018年设备入驻长江存储产线，2021年供应22台Universal-300X高端机型、当年实现销售5.34亿元、占公司营收66.37%，成为第一大客户，产品全面适配128层至300层各代制程。
2021年供货5.34亿占66.37%
中芯国际
中芯国际12英寸逻辑产线长期被应用材料、日本荏原垄断CMP设备，国产设备验证门槛极高。华海清科2015年将Universal-300送入中芯国际产线验证，半年内通过全部工艺指标考核，打破美日厂商垄断，此后持续批量复购，是公司前三大客户之一。
2015年半年通过验证并持续复购
长鑫存储
长鑫存储DRAM产线从19nm向14nm推进，且HBM多层堆叠对平坦化要求更高。华海清科是长鑫唯一国产12英寸CMP供应商，在其CMP采购中份额超60%，2025年长鑫为其贡献约12.75亿元营收、占公司总营收27.42%，长鑫IPO募资295亿元中约200亿元用于设备采购。
2025年贡献12.75亿占27.42%
华虹集团
华虹集团旗下多条12英寸产线扩产，CMP设备采购量大且对稳定性要求严格。华海清科自2019年起连续三年稳居华虹集团前两大客户，2021年实现销售1.20亿元、占营收14.92%，2026年设备覆盖其无锡、上海等多地fab。
2021年销售1.20亿占14.92%
京东方科技集团
京东方布局Micro LED与先进显示，背板制程引入半导体级平坦化工艺，对大尺寸面板级CMP设备有明确需求。华海清科2026年1月与京东方科技集团达成设备供应合作，将CMP技术从集成电路延伸至新型显示领域。
2026年1月导入面板级CMP
中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
航空惯性导航用MEMS与特种传感器芯片对晶圆表面平整度要求极高，此前依赖进口抛光设备。该所2026年7月28日公示全自动CMP抛光系统中标结果，由华海清科中标供货，设备应用于特种半导体器件研制产线。
2026年7月全自动CMP系统中标
陕西电子芯业时代科技有限公司
陕西电子芯业时代建设8英寸功率半导体产线，多晶硅化学机械研磨是关键工序。该公司2026年8月18日公示8吋多晶硅化学机械研磨设备采购中标结果，华海清科中标，为其8英寸产线提供CMP整线设备。
2026年8月8吋多晶硅CMP中标
株洲中车时代半导体股份有限公司
中车时代半导体生产IGBT与功率器件，需要减薄与抛光一体化工艺支撑高可靠封装。华海清科2025年1月与其达成设备供货合作，提供12英寸超精密减薄机与CMP设备，服务于轨道交通与新能源车用功率半导体产线。
2025年1月供货减薄与CMP设备
北京燕东微电子科技有限公司
燕东微投资建设12英寸特色工艺产线，CMP设备此前几乎全部依赖进口，单台采购成本与交期压力都很大。华海清科2025年1月14日与其达成设备采购合作，为其12英寸产线提供国产CMP设备与抛光头、保持环等配套耗材维保服务，替代进口方案。
2025年1月国产CMP替代进口
润鹏半导体（深圳）有限公司
润鹏半导体是深圳重点建设的12英寸晶圆厂项目，产线土建与设备招标同步推进，设备交付窗口紧张。华海清科2025年10月17日与其达成CMP设备供货合作，为其新建12英寸产线提供化学机械抛光装备及现场工艺调试支持。
2025年10月配套深圳12英寸厂
武汉高芯科技有限公司
高芯科技生产非制冷红外探测器，MEMS与氧化钒工艺对晶圆减薄厚度控制要求达到微米级。华海清科2026年1月20日与其达成设备供货合作，提供超精密减薄与抛光设备，支撑红外探测器量产良率提升。
2026年1月供货红外探测器减薄设备
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
该所承担SOI衬底与特种传感器芯片研制任务，实验线需要兼顾6至8英寸小批量与工艺灵活性。华海清科2025年6月4日与其达成设备供货合作，提供适配科研线的CMP设备，支撑多品种小批量工艺开发。
2025年6月支撑科研线工艺开发