公司介绍
拓荆科技股份有限公司（688072.SH）成立于2010年4月，2022年4月登陆科创板，是国家高新技术企业，多次获评中国半导体设备五强企业。公司是国内唯一实现PECVD规模化量产的薄膜沉积设备龙头，产品覆盖PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD及晶圆对晶圆混合键合设备，2025年营收65.19亿元、同比增长58.87%，2025年末在手订单约110亿元，累计出货超3800个反应腔。
提供的AI解决方案
擅长行业
成功案例
中芯国际
中芯国际12英寸逻辑产线扩产，薄膜沉积设备长期由AMAT、LAM垄断。拓荆科技PECVD设备自早期起批量供货中芯国际，长期为公司第一大客户，2022年对其销售额达1.07亿元，PF-300T系列设备在国内主流逻辑产线实现规模化应用。
2022年销售1.07亿元
长江存储
长江存储3D NAND堆叠层数持续提升，ONO叠层与ACHM等薄膜工艺设备需求量成倍增长。拓荆科技PECVD设备进入长江存储产线，2022年销售额6513.59万元，2025年PECVD Stack（ONO叠层）、ACHM等产品批量通过验证进入规模化量产。
2022年销售6513.59万元
长鑫科技
长鑫DRAM电容层制造依赖PECVD薄膜沉积设备，该工序直接决定存储电容性能。拓荆科技是其核心薄膜设备供应商，2022年销售额3221.87万元，DDR5产线建设期间完成大批量交付，上海新厂薄膜设备招标具备先发优势。
2022年销售3221.87万元
上海华虹宏力半导体制造有限公司
华虹宏力12英寸特色工艺产线扩产，薄膜沉积设备采购通过公开招标进行。2023年3月2日等离子化学气相沉积设备中标结果公告显示，拓荆科技中标供货，为其特色工艺产线提供PECVD设备。
2023年3月PECVD设备中标
上海积塔半导体
积塔半导体在特色工艺产线扩产中批量招标薄膜沉积设备，海外厂商长期占主导。2022年1至5月积塔半导体完成招标25台薄膜沉积设备，拓荆科技中标10台、占比达45.83%，是同期国产设备中标比例最高的厂商。
2022年中标10台占比45.83%
华虹无锡
华虹无锡12英寸产线是国内重要的特色工艺基地，薄膜设备采购量大且机型分散。2022年1至5月华虹无锡招标55台薄膜沉积设备，拓荆科技中标5台，与积塔合计中标15台、占两家招标总量17.95%。
2022年1-5月合计中标占比17.95%
上海华力集成电路
上海华力一二期项目是国内早期12英寸先进逻辑产线，对设备工艺指标要求严格。拓荆科技PECVD设备进入上海华力产线，2019至2020年公司在长江存储、上海华力、无锡华虹、上海积塔四家招标中合计中标占比16.65%。
四家招标中标占比16.65%
芯联集成
芯联集成聚焦功率半导体与特色工艺，产线扩产带动薄膜沉积设备需求。拓荆科技PECVD与ALD设备进入其供应链，公司2025年末合同负债达48.52亿元、同比增长62.66%，反映下游客户预付款大幅增加。
2025年合同负债48.52亿增62.66%
武汉新芯
武汉新芯在NOR Flash与特色存储领域持续扩产，12英寸产线薄膜沉积是关键前道工艺，设备投资占产线总投入七成以上。拓荆科技PECVD设备进入武汉新芯产线，2026年上半年公司PECVD Stack（ONO叠层）、ACHM等工艺产品进入规模化量产，实现营业收入29.13亿元、同比增长49.06%。
2026上半年营收29.13亿增49.06%
粤芯半导体
粤芯半导体作为粤港澳大湾区首家12英寸晶圆厂，模拟特色工艺对薄膜均匀性要求高。拓荆科技PECVD设备进入粤芯供应链，支撑其二期、三期产能建设，是国内主流晶圆厂国产化配套的重要一环。
PECVD配套大湾区12英寸厂
合肥晶合集成电路股份有限公司
晶合集成在显示驱动与CIS领域产能快速扩张，薄膜沉积设备采购量大。拓荆科技PECVD设备进入其产线，2025年公司PECVD系列设备实现销售收入约51.42亿元、同比增长75.27%，覆盖先进存储与先进逻辑领域。
2025年PECVD收入51.42亿增75.27%
北京燕东微电子科技有限公司
燕东微12英寸特色工艺产线对SACVD次常压化学气相沉积设备有明确需求，该品类此前几乎全部依赖进口。拓荆科技SACVD设备以燕东微为主要客户实现国产突破，2025年ALD设备收入3.01亿元、同比大幅增长191.82%。
2025年ALD收入3.01亿增191.82%